真空環境和環境溫度對鍍膜機器人的影響有些鍍膜機器人工作需要在120℃的環境溫度下，能適應此環境的電機、電線電纜、減速機、冷卻水管、傳動副并不多，通用配件不能適應這種環境，首先在真空環境下，通用的伺服電機、減速機、導軌絲杠等部件，不能使用普通潤滑油脂，這些潤滑油、潤滑脂、含油軸承等都會破壞真空性能，大量釋放出有機氣體，使原有潤滑機能完全喪失，這就必須使用能適應真空環境的專用潤滑介質或工作在無潤滑狀態?，F在伺服電機、減速機都有用于真空環境和高溫環境（約180℃）的專用部件，對于導軌絲杠等傳動副要考慮耐溫和潤滑問題，要采取措施屏蔽，避免直接受熱，不能存在易受熱蒸發的含油、含脂材料，避免影響真空性能；使用高溫真空脂等專用潤滑油脂，可以解決一部分耐溫和潤滑問題。電線電纜、冷卻水管應當選用耐溫的水管材料，對于冷卻水管的耐壓問題，通常考慮使用工作壓力在0.8Mpa，使用溫度大于90℃的軟管，以聚四氟乙烯管為最佳。電磁特性對鍍膜機器人的影響磁控靶有一定的磁性，這個磁場在鍍膜工作中會受到外界的干擾，同時磁控靶工作時也會干擾屏蔽不是很好的電子線路。磁控靶的磁場只在靶面以上存在，外圍的漏磁很小，可以不考慮；但應當避免在靶面以上布設電子線路和導磁性材料，導磁性材料也應當盡量遠離磁控靶的上表面附近。設計制造適合真空環境的機器人，不能簡單地搬用通用機器人的常規技術，需要仔細考慮各個部件材料的選用，采用專用的電工和機械裝備。就象普通伺服電機不能同時滿足真空和高溫的使用環境，不能完全依靠對通用伺服電機的改進來滿足使用要求。應當選用專用裝備和適合真空環境的常用材料來制造真空鍍膜機器人，才有了保證設備性能的基本條件。

作者：佚名　　來源：中國潤滑油網